发明名称 Verfahren zum Verbinden von Oberflächen, Halbleiter mit verbundenen Oberflächen sowie Bio-Chip und Bio-Sensor
摘要 Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Verkleben von Oberflächen sowie Halbleiter mit derart verbundenen Oberflächen und Bio-Chips bzw. Bio-Sensoren, umfassend den Halbleiter.
申请公布号 DE10237280(A1) 申请公布日期 2004.03.11
申请号 DE2002137280 申请日期 2002.08.14
申请人 MICRONAS HOLDING GMBH;KLAPPROTH, HOLGER 发明人 KLAPPROTH, HOLGER
分类号 C09D4/00;C09J5/00;C09J5/04;H01L21/58;H01L21/98;H01L51/00;H01L51/30;(IPC1-7):H01L21/58;B81C3/00 主分类号 C09D4/00
代理机构 代理人
主权项
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