发明名称 Buckling beam bi-stable microelectromechanical switch using electro-thermal actuation
摘要
申请公布号 AU2003274912(A8) 申请公布日期 2004.03.03
申请号 AU20030274912 申请日期 2003.08.13
申请人 INTEL CORPORATION 发明人 QING MA
分类号 B81B3/00;H01H1/00;H01H37/54;H01H61/00;H01H61/01;(IPC1-7):H01H61/00 主分类号 B81B3/00
代理机构 代理人
主权项
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