| 发明名称 |
CONDUCTION ASSEMBLY FOR A CATHODE OF AN ARC EVAPORATION DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1393344(A2) |
申请公布日期 |
2004.03.03 |
| 申请号 |
EP20020740681 |
申请日期 |
2002.06.04 |
| 申请人 |
SWISS-PLASS.COM AG;GABRIEL, HERBERT M. |
发明人 |
CURTINS, HERMANN |
| 分类号 |
H01J37/32;(IPC1-7):H01J37/32;C23C14/32 |
主分类号 |
H01J37/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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