雷射切削方法及装置

摘要

一种雷射切削方法用来去除光罩上之残留缺陷，一般的雷射切削方法有基板上去除缺陷所造成损伤的问题需要解决，因此导致切削品质的低落。一种雷射切削方法用来去除光罩上之残留缺陷，藉着雷射光束从下方照射且被切削表面面朝下之配置。另外，雷射光束照射的空气中包含一种卤化碳氢化合物（如乙基碘化合物之一例）。