热处理装置

摘要

一种热处理装置，包含具有在上下方向分割的3个区域的反应容器、支持基片的基片保持器具、在反应容器的侧方的每个区域设置的加热器和控制部。在各控制部连接检测各自承担的区域的温度的温度检测部。中段区域的温度检测部也连接到对应于上下段的控制部。上下段的控制部在基片保持器具搬入时，以根据中段区域的温度检测部的温度检测值作为温度目标值，基于该区域的温度检测值进行运算，输出加热器的控制信号。

主权项

1.一种热处理装置，装备有分割成多个区域的反应容器、在各个区域设置的加热装置、在各个区域设置的温度检测部、在各个区域设置的独立控制各加热装置的控制部，其特征在于对应于一个区域的控制部，具有第1运算部，在搬入上述基片时，基于该对应于一个区域的温度检测部的温度检测值，以对应于其它区域的温度检测部的温度检测值为温度目标值进行运算，以其运算结果作为加热装置的控制信号而输出；和第2运算部，在热处理基片时，基于在该区域设定的温度目标值和对应于该一个区域的温度检测部的温度检测值进行运算且以其运算结果为加热装置的控制信号而输出。