发明名称 |
用于移除离子束中所携带的粒子的系统及方法 |
摘要 |
一种用于禁止污染粒子与离子束(16)一起传输的系统包括一个电场发生器(12、14),用于产生相对于离子束(16)的行进路径(20)的电场(28)。位于电场(28)的一个区域内并且位于离子束(16)中的粒子(66)充电至与离子束(16)相匹配的极性,以便使得电场(28)可以推动带电粒子(66)移出离子束(16)。 |
申请公布号 |
CN1473347A |
申请公布日期 |
2004.02.04 |
申请号 |
CN01818486.3 |
申请日期 |
2001.08.21 |
申请人 |
艾克塞利斯技术公司 |
发明人 |
E·R·哈林顿;V·M·本维尼斯特;M·A·格拉夫;R·D·拉斯梅尔 |
分类号 |
H01J37/317;H01J37/02;H01J37/30;H01J3/40 |
主分类号 |
H01J37/317 |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 |
代理人 |
崔幼平;黄力行 |
主权项 |
1.一种用于禁止粒子与离子束一起传输的系统,包括:一电场发生器(12、14),用于产生相对于离子束(16)的路径(20)的电场(28),电场(28)可操作地推动位于离子束(16)中的粒子(66)离开离子束(16)的路径(20)。 |
地址 |
美国马萨诸塞州 |