| 发明名称 |
METHOD OF FORMING FILM AND FILM FORMING APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003281012(A1) |
申请公布日期 |
2004.02.02 |
| 申请号 |
AU20030281012 |
申请日期 |
2003.07.10 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LIMITED |
发明人 |
YUMIKO KAWANO;HIDEAKI YAMASAKI;YOSHIHIDE TADA;SUSUMU ARIMA;KOUMEI MATSUZAWA;KAZUHITO NAKAMURA |
| 分类号 |
C23C16/18;C23C16/40;C23C16/452;H01L21/31;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/31 |
主分类号 |
C23C16/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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