Halbleitereinrichtung und Herstellungsverfahren von Kontakthöcker auf Halbleiterchips

摘要

Ein erster Halbleiterchip ist mit einem Trägersubstrat chip-gebondet, eine Mehrzahl hoher Kontakthöcker und eine Mehrzahl niedriger Kontakthöcker sind auf einem zweiten Halbleiterchip ausgebildet, und der zweite Halbleiterchip ist mit der aktiven Seite nach unten mit dem Trägersubstrat und dem ersten Halbleiterchip gebondet.