METHOD OF DEFINING THE DIMENSIONS OF CIRCUIT ELEMENTS BY USING SPACER DEPOSITION TECHNIQUES,申请号AU20030280498-传众专利搜索

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发明名称	METHOD OF DEFINING THE DIMENSIONS OF CIRCUIT ELEMENTS BY USING SPACER DEPOSITION TECHNIQUES
摘要
申请公布号	AU2003280498(A1)	申请公布日期	2004.01.19
申请号	AU20030280498	申请日期	2003.06.24
申请人	ADVANCED MICRO DEVICES, INC.	发明人	MARTIN MAZUR;CARSTEN HARTIG;GEORG SULZER
分类号	H01L21/033;H01L21/28;H01L21/311;H01L21/3213;H01L21/768;H01L21/8234	主分类号	H01L21/033
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