DEVICE FOR POSITIONING AN OPTICAL ELEMENT IN A STRUCTURE

摘要

In einer Vorrichtung zur Positionierung eines optischen Ele­mentes (21) in einer Struktur, insbesondere in einem Objektivgehäuse eines Projektionsobjektives (1) für die Mikrolithographie, ist das optische Element (21) über Anbindungselemente (22) mit der Struktur verbunden. Die Position des optischen Elementes (21) wird durch Verstellanbindungen (23) eingestellt. Die Anbindungselemente (22) sind derart angeordnet und die Verstellanbindungen (23) derart betätigbar, dass das optische Element (21) in drei voneinander unabhängige Achsen (x-, y-, z-Achse) kippbar und zusätzlich in eine Achsrichtung (z-Achse) translatorisch verschiebbar ist.