视线外磁过滤金属蒸气真空弧等离子体沉积源

摘要

一种视线外磁过滤金属蒸汽真空弧等离子体沉积源，采用磁过滤方法传输真空弧产生的等离子体到视线外的真空室中，从而消除液滴或颗粒到达处理工件导致镀层缺陷。为了得到高质量的沉积薄膜，过滤器管道内壁有特殊的凹槽设计以防止液滴或颗粒的反射，过滤器可串联。过滤器管道上加正偏压以提高过滤器的等离子体传输效率。同时在过滤器管道出口附加桶形磁场等离子体均化器。本实用新型适用于高光洁度、高密度、良好的薄膜与基体结合等高质量快速沉积薄膜。

主权项

1.一种视线外磁过滤金属蒸气真空弧等离子体沉积源，它包括阴极(1)、阳极(3)、触发极(2)、磁过滤管道(4)、等离子体均化器(11)，其特征在于通过磁过滤管道外的磁场线包(5)产生的磁场传输等离子体。