| 发明名称 |
METHOD FOR THE DEPOSITION OF TRANSPARENT CONDUCTING LAYERS BY MEANS OF SPUTTER GAS COMPRISING HELIUM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003216906(A1) |
申请公布日期 |
2003.12.22 |
| 申请号 |
AU20030216906 |
申请日期 |
2003.03.31 |
| 申请人 |
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FORDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E. V. |
发明人 |
MANUELA EGEL;KLAUS GOEDICKE;TORSTEN WINKLER |
| 分类号 |
C23C14/08;C23C14/35;(IPC1-7):C23C14/08;H01J37/34 |
主分类号 |
C23C14/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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