| 发明名称 |
METHOD AND SYSTEM OF DETERMINING CHAMBER SEASONING CONDITION BY OPTICAL EMISSION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003241474(A1) |
申请公布日期 |
2003.12.19 |
| 申请号 |
AU20030241474 |
申请日期 |
2003.05.29 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LIMITED |
发明人 |
HIEU, A. LAM;HONGYU YUE;JOHN SHRINER |
| 分类号 |
H05H1/00;A61K48/00;C12Q1/68;C23C16/44;C23C16/52;G01N33/574;H01J37/32;H01L21/00;H01L21/205;H01L21/3065 |
主分类号 |
H05H1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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