METHOD AND DEVICE FOR COATING A SUBSTRATE WITH A LAYER SYSTEM (ZNO+AG) AND COATED SUBSTRATE

摘要

ZusammenfassungVerfahren zur Beschichtung eines Substrats mit einem Schichtsystem, beschichtetes Substrat und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens.Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Beschichtung eines Substrates mit einem Schichtsystem, ein nach dem Verfahren beschichtetes Substrat, das mit dem Schichtsystem beschichtet ist, sowie eine Vorrichtung zur Beschichtung des Schichtsystems.Erfindungegemäss wird unter die Silberschicht, welche auf das Substrat aufgesputtert wurde, eine keramische ZnO-Schicht als Unterblocker aufgesputtert. Das Aufsputtern des keramischen ZnO geschieht durch Beschuss eines keramischen ZnO-Targets, das einen Gehalt von Al2O3 von 0 - 10 % hat, unter Bedingungen, bei denen keine Beeinflussung durch Sauerstoff erfolgt. Der Schichtwiderstand des beschichteten Substrates wird überraschenderweise deutlich gesenkt.(Fig.2)