蒸镀装置

摘要

一种蒸镀装置，此蒸镀装置是由一转轴、一加热器及供料器所构成。其中：转轴配置于基板上方的中心处，以将此基板旋转；加热器上具有一蒸镀源，此蒸镀源在基板上的蒸镀范围为一半径为R的圆形区域；加热器与供料器配置于基板下方，且供料器沿着供料方向提供蒸镀源至加热器上。为了避免加热器上的蒸镀源在供料方向上的位置变化，本发明是以基板的中心为圆心，定义出一半径为R的圆形轨迹，并将加热器配置于此圆形轨迹下方的任一点上，并令供料器的供料方向与圆形轨迹在该点的切线方向平行。

主权项

1.一种蒸镀装置，适于蒸镀一基板，该蒸镀装置包括：一转轴，适于带动该基板以其中心处为轴心旋转，且以该基板的中心为圆心，定义出一圆形轨迹；一加热器，该加热器配置于该圆形轨迹上任一点的下方；以及一供料器，该供料器配置于该加热器上方，其中该供料器沿着一供料方向提供一蒸镀源于该加热器上，且该供料方向是与该任一点在该圆形轨迹的切线方向平行。