| 主权项 |
1.一种吐出装置用喷头单元,乃属于具备有针对工件进行相对移动的主托架的吐出装置所使用的喷头单元,于装脱自如地保持在前述主托架的副托架搭载机能液滴吐出喷头而构成者中,其特征为:在于由前述副托架的前述机能液滴吐出喷头离开的位置,设有用来连接:连接于设在吐出装置的给液槽的装置侧配管构件和连接于机能液滴吐出喷头的喷头侧配管构件的配管接头。2.如申请专利范围第1项所记载的吐出装置用喷头单元,其中,前述配管接头系具备有:在一端部介着管接头连接前述喷头侧配管构件,固定在前述副托架的插座、和插拔自如地嵌合于形成在该插座的另一端部的插头孔,连接着前述装置侧配管构件的插头。3.如申请专利范围第2项所记载的吐出装置用喷头单元,其中,前述插头孔的孔底面是形成配合前述插头前端锥度的锥面。4.如申请专利范围第2项所记载的吐出装置用喷头单元,其中,在前述插头的外周,以轴向保持间隔的安装复数个针对前述插头孔之密封用的O形环。5.一种吐出装置,其特征为:具备申请专利范围第1项所记载的吐出装置用喷头单元;针对属于工件的基板一边相对性扫描导入机能液的前述机能液滴吐出喷头一边选择性吐出机能液滴。6.一种液晶显示装置之制造方法,乃属于使用如申请专利范围第5项所记载的吐出装置,在彩色滤色片的基板上形成滤色片元件的液晶显示装置之制造方法,其特征为:在前述机能液滴吐出喷头导入滤色片材料,介着前述吐出装置用喷头单元将前述机能液滴吐出喷头针对前述基板做相对性扫描,选择性吐出前述滤色片材料,形成前述滤色片元件。7.一种有机电激发光装置之制造方法,乃属于使用如申请专利范围第5项所记载的吐出装置,在基板上的画素点素形成电激发光层的有机电激发光装置之制造方法,其特征为:在前述机能液滴吐出喷头导入发光材料,介着前述吐出装置用喷头单元将前述机能液滴吐出喷头针对前述基板做相对性扫描,选择性吐出前述发光材料,形成前述电激发光层。8.一种电子放出装置之制造方法,乃属于使用申请专利范围第5项所记载的吐出装置,在电极上形成萤光体的电子放出装置之制造方法,其特征为:在前述机能液滴吐出喷头导入各色萤光材料,介着前述吐出装置用喷头单元将前述机能液滴吐出喷头针对前述电极做相对性扫描,选择性吐出前述萤光材料,形成前述萤光体。9.一种电浆显示装置之制造方法,乃属于使用申请专利范围第5项所记载的吐出装置,在背面基板上的凹部形成萤光体的电浆显示装置之制造方法,其特征为:在前述机能液滴吐出喷头导入萤光材料,介着前述吐出装置用喷头单元将前述机能液滴吐出喷头针对前述背面基板做相对性扫描,选择性吐出前述萤光材料,形成前述萤光体。10.一种电泳显示装置之制造方法,乃属于使用申请专利范围第5项所记载的吐出装置,在电极上的凹部形成泳动体的电泳显示装置之制造方法,其特征为:在前述机能液滴吐出喷头导入各色泳动体材料,介着前述吐出装置用喷头单元将前述机能液滴吐出喷头针对前述电极做相对性扫描,选择性吐出前述泳动体材料,形成前述泳动体。11.一种彩色滤色片之制造方法,乃属于使用如申请专利范围第5项所记载的吐出装置,制造在基板上配列滤色片元件而成的彩色滤色片的彩色滤色片之制造方法,其特征为:在前述机能液滴吐出喷头导入滤色片材料,介着前述吐出装置用喷头单元将前述机能液滴吐出喷头针对前述基板做相对性扫描,选择性吐出前述滤色片材料,形成前述滤色片元件。12.如申请专利范围第11项所记载的彩色滤色片之制造方法,其中,形成被覆前述滤色片元件的被覆膜,于形成前述滤色片元件之后,在前述机能液滴吐出喷头导入透光性的涂布材料,介着前述吐出装置用喷头单元将前述机能液滴吐出喷头针对前述基板做相对性扫描,选择性吐出前述涂布材料,形成前述被覆膜。13.一种有机电激发光元件之制造方法,乃属于使用申请专利范围第5项所记载的吐出装置,将包括电激发光层的画素点素配列在基板上而成的有机电激发光元件之制造方法,其特征为:在前述机能液滴吐出喷头导入发光材料,介着前述吐出装置用喷头单元将前述机能液滴吐出喷头针对前述基板做相对性扫描,选择性吐出前述发光材料,形成前述电激发光层。14.如申请专利范围第13项所记载的有机电激发光元件之制造方法,其中,在前述电激发光层和前述基板之间,对应前述电激发光层而形成画素电极,在前述机能液滴吐出喷头导入液状电极材料,介着前述吐出装置用喷头单元将述机能液滴吐出喷头针对前述基板做相对性扫描,选择性吐出前述液状电极材料,形成前述画素电极。15.如申请专利范围第14项所记载的有机电激发光元件之制造方法,其中,被覆前述电激发光层地形成对向电极,于形成前述电激发光层之后,在前述机能液滴吐出喷头导入液状电极材料,介着前述吐出装置用喷头单元将前述机能液滴吐出喷头针对前述基板做相对性扫描,选择性吐出前述液状电极材料,形成前述对向电极。16.一种间隔物形成方法,乃属于使用申请专利范围第5项所记载的吐出装置,在两枚基板间构成单元空隙,形成粒子状间隔物的间隔物形成方法,其特征为:在前述机能液滴吐出喷头导入构成间隔物的粒子材料,介着前述吐出装置用喷头单元将前述机能液滴吐出喷头至少针对一方的前述基板做相对性扫描,选择性吐出前述粒子材料,在前述基板上形成前述间隔物。17.一种金属配线形成方法,乃属于使用申请专利范围第5项所记载的吐出装置,在基板上形成金属配线的金属配线形成方法,其特征为:在前述机能液滴吐出喷头导入液状金属材料,介着前述吐出装置用喷头单元将前述机能液滴吐出喷头针对前述基板做相对性扫描,选择性吐出前述液状金属材料,形成前述金属配线。18.一种透镜形成方法,乃属于使用申请专利范围第5项所记载的吐出装置,在基板上形成微透镜的透镜形成方法,其特征为:在前述机能液滴吐出喷头导入透镜材料,介着前述吐出装置用喷头单元将前述机能液滴吐出喷头针对前述基板做相对性扫描,选择性吐出前述透镜材料,形成前述微透镜。19.一种光阻剂形成方法,乃属于使用申请专利范围第5项所记载的吐出装置,在基板上形成任意形状的光阻剂的光阻剂形成方法,其特征为:在前述机能液滴吐出喷头导入光阻剂材料,介着前述吐出装置用喷头单元将前述机能液滴吐出喷头针对前述基板做相对性扫描,选择性吐出前述光阻剂材料,形成前述光阻剂。20.一种光扩散体形成方法,乃属于使用申请专利范围第5项所记载的吐出装置,在基板上形成光扩散体的光扩散体形成方法,其特征为:在前述机能液滴吐出喷头导入光扩散材料,介着前述吐出装置用喷头单元将前述机能液滴吐出喷头针对前述基板做相对性扫描,选择性吐出前述光扩散材料,形成前述光扩散体。图式简单说明:第1图是有关实施形态的有机电激发光装置之制造方法的储料部形成工程(无机物储料)的断面图。第2图是有关实施形态的有机电激发光装置之制造方法的储料部形成工程(有机物储料)的断面图。第3图是有关实施形态的有机电激发光装置之制造方法的电浆处理工程(亲水化处理)的断面图。第4图是有关实施形态的有机电激发光装置之制造方法的电浆处理工程(拨水化处理)的断面图。第5图是有关实施形态的有机电激发光装置之制造方法的正孔注入层形成工程(液滴吐出)的断面图。第6图是有关实施形态的有机电激发光装置之制造方法的正孔注入层形成工程(乾燥)的断面图。第7图是有关实施形态的有机电激发光装置之制造方法的表面改质工程(液滴吐出)的断面图。第8图是有关实施形态的有机电激发光装置之制造方法的表面改质工程(乾燥)的断面图。第9图是有关实施形态的有机电激发光装置之制造方法的B发光层形成工程(液滴吐出)的断面图。第10图是有关实施形态的有机电激发光装置之制造方法的B发光层形成工程(乾燥)的断面图。第11图是有关实施形态的有机电激发光装置之制造方法的R、G、B发光层形成工程的断面图。第12图是有关实施形态的有机电激发光装置之制造方法的对向电极形成工程的断面图。第13图是有关实施形态的有机电激发光装置之制造方法的密封工程的断面图。第14图是有关实施形态的正孔注入层形成设备的概念图。第15图是有关实施形态的发光层形成设备的概念图。第16图是有关实施形态的吐出装置的外观立体图。第17图是有关实施形态的吐出装置的外观正面图。第18图是有关实施形态的吐出装置的外观侧面图。第19图是有关实施形态的吐出装置的外观平面图。第20图是有关实施形态的吐出装置的模式图。第21图是有关实施形态的喷头单元的平面图。第22图是有关实施形态的喷头单元的侧面图。第23图是有关实施形态的喷头单元的正面图。第24图(a)是有关实施形态的喷头单元的配管接头的外观立体图、(b)配管接头的断面图。第25图(a)是有关实施形态的机能液滴吐出喷头的外观立体图、(b)机能液滴吐出喷头的断面图。第26图是有关实施形态的吐出装置的石定盘旋转的侧面图。第27图是有关实施形态的吐出装置的石定盘旋转的平面图。第28图是有关实施形态的吐出装置的石定盘旋转的正面图。第29图是表示有关实施形态的吐出装置的石定盘的支撑形态的模式图。第30图是有关实施形态的吐出装置的X轴台的平面图。第31图是有关实施形态的吐出装置的X轴台的侧面图。第32图是有关实施形态的吐出装置的X轴台的正面图。第33图是有关实施形态的吐出装置的主基板辨识相机旋转的立体图。第34图是有关实施形态的吐出装置的Y轴台的平面图。第35图是有关实施形态的吐出装置的Y轴台的侧面图。第36图是有关实施形态的吐出装置的Y轴台的正面图。第37图是有关实施形态的Y轴台的主托架的立体图。第38图是有关实施形态的Y轴台的主托架的平面图。第39图是有关实施形态的吐出装置的共同机台的立体图。第40图是有关取出实施形态的吐出装置的共同底座的共同机台的立体图。第41图是有关实施形态的吐出装置的共同机台的侧面图。第42图是有关实施形态的吐出装置的共同机台的平面图。第43图是有关实施形态的吐出装置之液体供给回收装置的配管系统图。第44图是有关实施形态的液体供给回收装置的帮浦群旋转的立体图。第45图是有关实施形态的液体供给回收装置的帮浦群旋转的平面图。第46图是有关实施形态的液体供给回收装置的废液帮浦旋转的立体图。第47图是有关实施形态的液体供给回收装置的给液槽的立体图。第48图是有关实施形态的液体供给回收装置的给液槽的侧面图。第49图是有关实施形态的液体供给回收装置的给液槽的正面图。第50图是有关实施形态的擦拭单元的卷取单元的立体图。第51图是有关实施形态的擦拭单元的卷取单元的平面图。第52图是有关实施形态的擦拭单元的卷取单元的正面图。第53图是有关实施形态的擦拭单元的拭取单元的立体图。第54图是有关实施形态的擦拭单元的拭取单元的平面图。第55图是有关实施形态的擦拭单元的拭取单元的正面图。第56图是表示擦拭单元动作的模式图。第57图是有关实施形态的清洗单元的外观立体图。第58图是有关实施形态的清洗单元的正面图。第59图是有关实施形态的清洗单元的侧面图。第60图是有关实施形态的清洗单元的平面图。第61图是清洗单元盖体的放大断面图。第62图是有关实施形态的喷洒单元的立体图。第63图是有关实施形态的喷洒单元的平面图。第64图是有关实施形态的给液通路中的开关阀的配置部的立体图。第65图是有关实施形态的给液通路中的开关阀的配置部的侧面图。 |
