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发明名称 Fotoresist-enthaltende Mischungen aus fotoaktiven Verbindungen
摘要
申请公布号 DE69529972(T2) 申请公布日期 2003.12.04
申请号 DE19956029972T 申请日期 1995.12.06
申请人 SHIPLEY CO., L.L.C. 发明人 ZAMPINI, ANTHONY;TREFONAS, III;MEISTER, CATHERINE C.
分类号 G03F7/022;C08G8/28;C08L61/04;C08L61/14;G03F7/023;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/023;H04N9/31 主分类号 G03F7/022
代理机构 代理人
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