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发明名称 METHOD FOR MULTILEVEL COPPER INTERCONNECTS FOR ULTRA LARGE SCALE INTEGRATION
摘要
申请公布号 EP1366513(A1) 申请公布日期 2003.12.03
申请号 EP20020714825 申请日期 2002.02.04
申请人 MICRON TECHNOLOGY, INC. 发明人 AHN, KIE, Y.;GEUSIC, JOSEPH, E.
分类号 C23C18/16;H01L21/316;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/476 主分类号 C23C18/16
代理机构 代理人
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