| 发明名称 |
WAFER POLISHING APPARATUS AND METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US3559346(A) |
申请公布日期 |
1971.02.02 |
| 申请号 |
USD3559346 |
申请日期 |
1969.02.04 |
| 申请人 |
BELL TELEPHONE LABORATORIES INC. |
发明人 |
CARL R. PAOLA |
| 分类号 |
B24B7/00;B24B35/00;B24B37/04;H01L21/302;(IPC1-7):B24B7/00;B24B9/00;B24B1/00 |
主分类号 |
B24B7/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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