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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR SPIN-COATING CHEMICALS
摘要
申请公布号 EP1015136(A4) 申请公布日期 2003.12.03
申请号 EP19980926126 申请日期 1998.05.29
申请人 KARL SUESS VAIHINGEN GMBH 发明人 MAHNEKE, PETER;BATCHELDER, WILLIAM, T.
分类号 B05D1/40;B05C11/08;B05D1/00;G03F7/16;H01L21/027;H01L21/312;H01L21/314;(IPC1-7):B05D3/12;B05D3/02;B05C13/00;B05C13/02;H01L21/469 主分类号 B05D1/40
代理机构 代理人
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