发明名称 磷化铟基磷化铟/铟镓砷锑/磷化铟双异质结双极晶体管
摘要 本发明一种磷化铟基磷化铟/铟镓砷锑/磷化铟双异质结双极晶体管,其中包括:一衬底;该衬底上生长有一层与磷化铟晶格匹配的重掺杂的N型子收集区;该子收集区上是轻掺杂的N型磷化铟收集区;该收集区生长有一层与磷化铟晶格匹配的重掺杂的P型作为基区,基区上面是磷化铟发射区;最上面一层是作欧姆接触层。
申请公布号 CN1459873A 申请公布日期 2003.12.03
申请号 CN02117379.6 申请日期 2002.05.21
申请人 中国科学院微电子中心 发明人 石瑞英;刘训春
分类号 H01L29/737 主分类号 H01L29/737
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 代理人 汤保平
主权项 1、一种磷化铟基磷化铟/铟镓砷锑/磷化铟双异质结双极晶体管,其特征在于,其中包括:一衬底;该衬底上生长有一层与磷化铟晶格匹配的重掺杂的N型子收集区;该子收集区上是轻掺杂的N型磷化铟收集区;该收集区生长有一层与磷化铟晶格匹配的重掺杂的P型作为基区,基区上面是磷化铟发射区;最上面一层是作欧姆接触层。
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