发明名称 |
磷化铟基磷化铟/铟镓砷锑/磷化铟双异质结双极晶体管 |
摘要 |
本发明一种磷化铟基磷化铟/铟镓砷锑/磷化铟双异质结双极晶体管,其中包括:一衬底;该衬底上生长有一层与磷化铟晶格匹配的重掺杂的N型子收集区;该子收集区上是轻掺杂的N型磷化铟收集区;该收集区生长有一层与磷化铟晶格匹配的重掺杂的P型作为基区,基区上面是磷化铟发射区;最上面一层是作欧姆接触层。 |
申请公布号 |
CN1459873A |
申请公布日期 |
2003.12.03 |
申请号 |
CN02117379.6 |
申请日期 |
2002.05.21 |
申请人 |
中国科学院微电子中心 |
发明人 |
石瑞英;刘训春 |
分类号 |
H01L29/737 |
主分类号 |
H01L29/737 |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 |
代理人 |
汤保平 |
主权项 |
1、一种磷化铟基磷化铟/铟镓砷锑/磷化铟双异质结双极晶体管,其特征在于,其中包括:一衬底;该衬底上生长有一层与磷化铟晶格匹配的重掺杂的N型子收集区;该子收集区上是轻掺杂的N型磷化铟收集区;该收集区生长有一层与磷化铟晶格匹配的重掺杂的P型作为基区,基区上面是磷化铟发射区;最上面一层是作欧姆接触层。 |
地址 |
100029北京市德胜门外祁家豁子 |