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发明名称 SINGLE WAFER FABRICATION OF INTEGRATED MICRO-FLUIDIC SYSTEM
摘要
申请公布号 AU2003237767(A1) 申请公布日期 2003.12.02
申请号 AU20030237767 申请日期 2003.05.16
申请人 AGENCY FOR SCIENCE, TECHNOLOGY AND RESEARCH 发明人 JANAK SINGH;TIT, MENG LIM;TIE YAN;CHEW, KIAT HENG;QUANBO ZOU;YU CHEN
分类号 B81C99/00;F04B43/04;(IPC1-7):B81B1/00;B01L3/00;H01L21/365 主分类号 B81C99/00
代理机构 代理人
主权项
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