| 发明名称 |
FABRICATION OF ELECTRONIC, MAGNETIC, OPTICAL, CHEMICAL, AND MECHANICAL SYSTEMS USING CHEMICAL ENDPOINT DETECTION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003230268(A1) |
申请公布日期 |
2003.12.02 |
| 申请号 |
AU20030230268 |
申请日期 |
2003.05.01 |
| 申请人 |
THE REGENTS OF THE UNIVERSITY OF CALIFORNIA |
发明人 |
JEFFREY PETERSON;CHARLES HUNT |
| 分类号 |
G02B6/43;H01L21/306;(IPC1-7):C23F1/00;B44C1/22;C03C15/00;C03C25/68;C25F3/00 |
主分类号 |
G02B6/43 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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