发明名称 高高温伸长率电解铜箔之制造方法
摘要 一种高高温伸长率电解铜箔之制造方法,其电镀过程所使用的酸性硫酸铜镀液中包含有1.5ppm(百万分之一)以下之凝胶,以及20ppm(百万分之一)以下(6-12ppm为最佳)之氯离子,利用此成分浓度之镀液而有效提升所制造之电解铜箔的高温伸长率,避免后续多层印刷电路板制作过程中所产生的热裂或弯曲歪扭的现象。
申请公布号 TW561201 申请公布日期 2003.11.11
申请号 TW091125279 申请日期 2002.10.25
申请人 财团法人工业技术研究院 发明人 陈友忠;李鸿坤;翁荣洲
分类号 C25C1/12 主分类号 C25C1/12
代理机构 代理人
主权项 1.一种高高温伸长率电解铜箔之制造方法,系利用一酸性硫酸铜溶液作为电镀液,而制造出一高高温伸长率电解铜箔的方法,该酸性硫酸铜溶液中包含有:一凝胶、一氯离子、一铜离子及一硫酸,其特征在于:该酸性硫酸铜镀液中所含该凝胶浓度范围在1.5ppm(百万分之一)以下,且该氯离子浓度范围在20ppm(百万分之一)以下。2.如申请专利范围第1项所述之高高温伸长率电解铜箔之制造方法,其中该酸性硫酸铜镀液中所含氯离子浓度之较佳范围为6-12ppm。3.如申请专利范围第1项所述之高高温伸长率电解铜箔之制造方法,其中该酸性硫酸铜镀液中所含铜离子浓度范围为40-70克每升(g/L)。4.如申请专利范围第3项所述之高高温伸长率电解铜箔之制造方法,其中该酸性硫酸铜镀液中所含铜离子浓度之较佳范围为50-65克每升(g/L)。5.如申请专利范围第1项所述之高高温伸长率电解铜箔之制造方法,其中该酸性硫酸铜镀液中所含硫酸浓度范围为60-120克每升(g/L)。6.如申请专利范围第5项所述之高高温伸长率电解铜箔之制造方法,其中该酸性硫酸铜镀液中所含硫酸浓度之较佳范围为80-120克每升(g/L)。7.如申请专利范围第1项所述之高高温伸长率电解铜箔之制造方法,其中该酸性硫酸铜镀液之操作温度范围为摄氏40-70度。8.如申请专利范围第7项所述之高高温伸长率电解铜箔之制造方法,其中该酸性硫酸铜镀液之操作温度之较佳范围为摄氏50-60度。9.如申请专利范围第1项所述之高高温伸长率电解铜箔之制造方法,其中该酸性硫酸铜镀液之操作电流密度范围为0.4-1.0安培每平方公分。10.如申请专利范围第9项所述之高高温伸长率电解铜箔之制造方法,其中该酸性硫酸铜镀液之操作电流密度之较佳范围为0.5-0.8安培每平方公分。11.一种高高温伸长率电解铜箔之制造方法,系利用一酸性硫酸铜溶液作为电镀液,而制造出一高高温伸长率电解铜箔的方法,该酸性硫酸铜溶液中包含有:一凝胶、一氯离子、一铜离子及一硫酸,其特征在于:该酸性硫酸铜镀液中所含氯离子浓度范围在20ppm(百万分之一)以下。12.如申请专利范围第11项所述之高高温伸长率电解铜箔之制造方法,其中该酸性硫酸铜镀液中所含氯离子浓度之较佳范围为6-12ppm。13.如申请专利范围第11项所述之高高温伸长率电解铜箔之制造方法,其中该酸性硫酸铜镀液中所含凝胶之浓度范围在1.5ppm(百万分之一)以下。14.如申请专利范围第11项所述之高高温伸长率电解铜箔之制造方法,其中该酸性硫酸铜镀液中所含铜离子浓度范围为40-70克每升(g/L)。15.如申请专利范围第14项所述之高高温伸长率电解铜箔之制造方法,其中该酸性硫酸铜镀液中所含铜离子浓度之较佳范围为50-65克每升(g/L)。16.如申请专利范围第11项所述之高高温伸长率电解铜箔之制造方法,其中该酸性硫酸铜镀液中所含硫酸浓度范围为60-120克每升(g/L)。17.如申请专利范围第16项所述之高高温伸长率电解铜箔之制造方法,其中该酸性硫酸铜镀液中所含硫酸浓度之较佳范围为80-120克每升(g/L)。18.如申请专利范围第11项所述之高高温伸长率电解铜箔之制造方法,其中该酸性硫酸铜镀液之操作温度范围为摄氏40-70度。19.如申请专利范围第18项所述之高高温伸长率电解铜箔之制造方法,其中该酸性硫酸铜镀液之操作温度之较佳范围为摄氏50-60度。20.如申请专利范围第11项所述之高高温伸长率电解铜箔之制造方法,其中该酸性硫酸铜镀液之操作电流密度范围为0.4-1.0安培每平方公分。21.如申请专利范围第20项所述之高高温伸长率电解铜箔之制造方法,其中该酸性硫酸铜镀液之操作电流密度之较佳范围为0.5-0.8安培每平方公分。图式简单说明:表1为本发明所生产之电解铜箔与其他市售的商用电解铜箔之性能比较;附件1为氯离子浓度为2ppm操作条件下之电解铜箔表面的结晶型态图;附件2为氯离子浓度为8ppm操作条件下之电解铜箔表面的结晶型态图;及附件3为电解铜箔(Hoz)之高温伸长率値与氯离子浓度效应的关系图。
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