发明名称 TRANSPORT APPARATUS WITH GRIPPER FOR TRANSPORT OF SUBSTRATE
摘要
申请公布号 KR20030085473(A) 申请公布日期 2003.11.05
申请号 KR20030020350 申请日期 2003.04.01
申请人 发明人
分类号 H01L21/50;B25B11/00;B25J15/00;B25J15/06;B65G49/07;H01L21/683 主分类号 H01L21/50
代理机构 代理人
主权项
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