一种全息光栅制作中的实时潜像自监测用的光学方法

摘要

本发明涉及一种全息光栅制作中的实时潜像自监测用的光学方法，属于光栅测量技术领域。其特征是它把作用于光栅的光强任意的干涉记录光束同时作为实时潜像自监测用的入射光束，当入射光束的波长与光栅的周期比值λ/d＜2/3时，光栅存在多个传播衍射级次，对其中传播出系统之外的任意级次的潜像自衍射I_r2和I_l1的传播方向上的光束经准直和光电倍增后进行实时自监测，或者对其中按原路返回的自准直级次经滤波、准直和光电倍增后进行实时自监测；当2/3≤λ/d≤2时，光栅存在两个传播的衍射级次，对按原路返回的自准直级次按上述方法进行。利用本方法，能获得特征非常明显的实时监测曲线，灵敏和客观地探测出样片之间个性差异导致的最佳曝光量的漂移，并对其进行补偿。

主权项

1、一种全息光栅制作中的实时潜像自监测用的光学方法，其特征在于：它把作用于全息光栅的光强任意的干涉记录光束同时作为实时潜像自监测用的入射光束，当入射光束的波长与光栅的周期比值时，光栅存在多个传播衍射级次，对其中传播出系统之外的任意级次的潜像自衍射I_r2和I_l1的传播方向上的光束经准直和光电倍增后进行实时自监测。