发明名称 | 具有过滤器排尘处理功能的热处理装置 | ||
摘要 | 一种具有过滤器排尘处理功能的热处理装置,净化炉是在入口框(1)处通过夹入衬垫(2)安装过滤器(3)、并使气体从具有送风机(4)的热处理用气体循环路径(5)经过过滤器(3)进入到热处理室(6)内的装置,具有将在衬垫的室内侧形成的间隙部分(71)隔开的出口框(7)和通过送风机(4)吸入侧的抽气口(8)。来自出口框(7)与过滤器(3)的围框(31)之间的室内气体会时常进入到间隙部分(71)内并从抽气口(8)通过循环路径(5)被送风机(4)吸入,当升降温、衬垫(2)因受到应力而排尘时,这些尘埃从间隙部分被排出而不会进入到槽内。这种净化炉不会使从衬垫部分产生的颗粒进入到热处理室内并使其保持良好的清洁度。 | ||
申请公布号 | CN1450008A | 申请公布日期 | 2003.10.22 |
申请号 | CN02142697.X | 申请日期 | 2002.09.17 |
申请人 | 爱斯佩克株式会社 | 发明人 | 长野由龟雄;金森郁夫 |
分类号 | C03B32/00;G02F1/13 | 主分类号 | C03B32/00 |
代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 汪惠民 |
主权项 | 1.一种热处理装置,在结构部件上、通过夹入密封部件安装过滤器、并且从具有送风机的热处理用气体的循环路径、经过所述过滤器使所述气体进入到热处理室内,其特征在于:设置有把在包括所述密封部件的热处理室一侧所产生的间隙部分从所述热处理室隔开的隔壁部件,和能抽出所述间隙部分的气体的间隙气体抽出机构。 | ||
地址 | 日本大阪府 |