| 主权项 |
1.一种光罩盒推车,具有抗静电放电(ElectrostaticDischarge;ESD)之特性,至少包括:一光罩盒置放箱;复数个吸震器,位于该光罩盒置放箱下;以及复数个车轮,位于该些吸震器下。2.如申请专利范围第1项所述之光罩盒推车,其中该光罩盒置放箱以抗静电放电之材质制成。3.如申请专利范围第1项所述之光罩盒推车,其中该光罩盒置放箱以金属制成。4.如申请专利范围第1项所述之光罩盒推车,其中该光罩盒置放箱之形状为一长方体。5.如申请专利范围第4项所述之光罩盒推车,其中该光罩盒置放箱之三侧面封闭,一侧面开放,且该开放之侧面上安装有复数个推车门。6.如申请专利范围第5项所述之光罩盒推车,其中该些推车门以抗静电放电之材质制成。7.如申请专利范围第1项所述之光罩盒推车,其中该光罩盒置放箱内以复数个垂直隔板分成复数个区域,且该些区域再以与一水平面夹一倾斜角的复数个隔片配置出复数个独立空间。8.如申请专利范围第7项所述之光罩盒推车,其中更包括复数个支撑软垫,且每一该些支撑软垫固定在每一该些隔片上。9.如申请专利范围第7项所述之光罩盒推车,其中该倾斜角约为8度。10.如申请专利范围第1项所述之光罩盒推车,其中该些吸震器为弹簧式,且以金属制成。11.如申请专利范围第1项所述之光罩盒推车,其中该些车轮之材质为抗静电放电之物质。12.如申请专利范围第1项所述之光罩盒推车,其中更包括一基座,用以固定该些吸震器以及该些车轮。13.一种光罩盒推车,具有抗静电放电之特性,至少包括:一光罩盒置放箱,其中该光罩盒置放箱内以复数个垂直隔板分成复数个区域,且该些区域再以与一水平面夹一倾斜角的复数个隔片配置出复数个独立空间;复数个吸震器,位于该光罩盒置放箱下;一基座,位于该些吸震器下;复数个车轮,位于该基座下;以及复数个支撑软垫,其中每一该些支撑软垫固定在每一该些隔片上。14.如申请专利范围第13项所述之光罩盒推车,其中该光罩盒置放箱以抗静电放电之材质制成。15.如申请专利范围第13项所述之光罩盒推车,其中该光罩盒置放箱以金属制成。16.如申请专利范围第13项所述之光罩盒推车,其中该光罩盒置放箱之形状为一长方体。17.如申请专利范围第13项所述之光罩盒推车,其中该倾斜角约为8度。18.如申请专利范围第13项所述之光罩盒推车,其中该些吸震器为弹簧式,且以金属制成。19.如申请专利范围第13项所述之光罩盒推车,其中该些车轮之材质为抗静电放电之物质。20.如申请专利范围第13项所述之光罩盒推车,其中该光罩盒置放箱之三侧面封闭,一侧面开放,且该开放之侧面上安装有复数个推车门。21.如申请专利范围第20项所述之光罩盒推车,其中该些推车门以抗静电放电之材质制成。图式简单说明:第1A图至第1C图为习知微影的基本原理之示意图,其中所使用之光阻为正光阻。第2A图至第2C图为习知微影的基本原理之示意图,其中而使用之光阻为负光阻。第3图为习知光罩的侧视剖面图。第4图为习知光罩盒的侧视剖面图。第5图为习知光罩盒推车之示意图。第6图为本创作之一较佳实施例之光罩盒推车之立体图。第7图为本创作之一较佳实施例之光罩盒推车之剖面图。 |
