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发明名称 Verfahren zur Erzeugung von p-n-Übergängen in einem Halbleiter
摘要
申请公布号 DE10153053(C2) 申请公布日期 2003.10.09
申请号 DE20011053053 申请日期 2001.10.21
申请人 HAHN-MEITNER-INSTITUT BERLIN GMBH;YEDA RESEARCH AND DEVELOPMENT CO., LTD. 发明人 SCHEER, ROLAND;GARTSMANN, KONSTANTIN
分类号 H01L21/479;(IPC1-7):H01L21/479;H01L21/326 主分类号 H01L21/479
代理机构 代理人
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