发明名称 ETCHANT COMPOSITION
摘要 <p>An etchant composition which comprises a perfluoroalkylated phosphoric acid compound, oxalic acid, and water. With this etchant composition, a transparent electrode film made of indium-tin oxide can be precisely etched without leaving a residue or bubbling.</p>
申请公布号 WO2003081658(P1) 申请公布日期 2003.10.02
申请号 JP2003003558 申请日期 2003.03.24
申请人 发明人
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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