| 发明名称 |
Methods of fabricating etched structures |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU765894(B2) |
申请公布日期 |
2003.10.02 |
| 申请号 |
AU20000024503 |
申请日期 |
2000.02.10 |
| 申请人 |
UNIVERSITY OF BRISTOL |
发明人 |
IAN HUGH WHITE;RICHARD VINCENT PENTY;MICHAEL COWIN |
| 分类号 |
G02B6/124;G03F7/00;H01L21/027;H01L21/308;(IPC1-7):H01L21/027;G02B6/12 |
主分类号 |
G02B6/124 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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