利用高压辉光放电对管筒状工件内表面离子注入的装置

摘要

利用高压辉光放电对管筒状工件内表面离子注入的装置，它涉及一种等离子体处理装置，特别是涉及管筒状工件内表面等离子体改性处理的装置。气体源(1)与真空室(4)内相连通，绝缘支架(6)固定在真空室内，管筒状工件(7)安装在绝缘支架上，中心电极(3)的左端设置在管筒状工件的中心处，且中心电极(3)的左端头伸出管筒状工件左端面一段距离，中心电极(3)的右部设置在真空室的侧壁的孔(4－3)内，高压脉冲电源(2)的负极与管筒状工件连接，高压脉冲电源的正极与中心电极(3)连接。它不需外加等离子体，在适当的气压范围和注入电压条件下，只要高压脉冲存在，离子注入就可进行，中心电极与工件的相对转动能实现管筒状工件内表面均匀高效的离子注入效果。

主权项

1、利用高压辉光放电对管筒状工件内表面离子注入的装置，它包括气体源(1)、真空室(4)，它还包括有高压脉冲电源(2)、中心电极(3)、绝缘支架(6)、绝缘套(9)；其特征在于气体源(1)与真空室(4)相连通，绝缘支架(6)固定在真空室(4)内，管筒状工件(7)安装在绝缘支架(6)上，中心电极(3)的左端设置在管筒状工件(7)的中心处，中心电极(3)的右部设置在真空室(4)的侧壁的孔(4-3)内，高压脉冲电源(2)的负极与管筒状工件(7)连接，高压脉冲电源(2)的正极与中心电极(3)连接，真空室(4)内壁与管筒状工件(7)之间固定有绝缘套(9)。