真空镀膜机循环装片装置

摘要

本实用新型公开了一种真空镀膜机循环装片装置，它包括镀膜箱体和高真空抽提装置，镀膜箱体的上部为主真空室，在主真空室内有物料装置、主烘烤盘，蒸发源，镀膜箱体的边侧有箱门，在箱门上做有一个付箱体，付箱体与付机械泵相接，在付箱体与镀膜箱体之间隔有付高阀，在付箱体内安装有工件送出装置、工件接收装置、预烘烤盘。将本实用新型用在镀膜机能上，可大幅降低生产成本，提高生产效率。

主权项

1、一种真空镀膜机循环装片装置，它包括镀膜箱体和高真空抽取装置，镀膜箱体的上部为主真空室，在主真空室内有物料装置、主烘烤盘，蒸发源，镀膜箱体的正面为箱门，其特征在于在箱门上做有一个付箱体，付箱体与付机械泵相接，在付箱体与镀膜箱体之间隔有付高阀，在付箱体内安装有工件送出装置、工件接收装置、预烘烤盘。