摘要 |
Ein Objektiv, insbesondere Projektionsobjektiv für die Mikrolithographie, ist mit wenigstens einem optischen Element (8) versehen, das in einer Innenfassung (9a) gelagert ist, wobei die Innenfassung (9a) mit der Außenfassung (9b) verbunden ist. Durch eine Manipulatoreinrichtung (21) erfolgt eine Verschiebung des optischen Elementes (8), vorzugsweise in wenigstens eine Richtung, die wenigstens annähernd parallel zur optischen Achse liegt. In einem Spalt (12) zwischen der Innenfassung (9a) und der Außenfassung (9b) ist wenigstens ein elastisch verformbares Band (13) angeordnet, wobei das Band jeweils über einen Befestigungsabschnitt (15) mit der Innenfassung (9a) und der Außenfassung (9b) verbunden ist und wobei die beiden Befestigungsabschnitte (15) durch einen Bogenabschnitt (18, 19) und dazwischenliegende freie Anlageteile (16, 17) miteinander verbunden sind.
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