发明名称 | 将欲利用光学量测方式检查之结构予以特征化之轮廓模型的产生 | ||
摘要 | 在产生将欲利用光学量测方式检查之结构予以特征化的轮廓模型中,显示检视画布,而将所产生的轮廓模型显示于检视画布上。显示邻接于检视画布的轮廓形状色盘。在轮廓形状色盘中显示复数不同的轮廓形状基元。藉由轮廓参数组来定义在轮廓形状色盘中的每一轮廓形状基元。当使用者自轮廓形状色盘选择轮廓形状基元、从轮廓形状色盘拖曳所选择的轮廓形状基元以及将所选择的轮廓形状基元放进检视画布内时,可将所选择的轮廓形状基元加进产生并显示在检视画布中的轮廓模型内。 | ||
申请公布号 | TW200813396 | 申请公布日期 | 2008.03.16 |
申请号 | TW096125208 | 申请日期 | 2007.07.11 |
申请人 | 东京威力科创股份有限公司 | 发明人 | 杰弗瑞A 查德;鲍君威;乔尔格 比思契夫;李世芳;刘伟;裘洪;席维欧 勒贝罗;王威 |
分类号 | G01B11/24(2006.01);H01L21/66(2006.01) | 主分类号 | G01B11/24(2006.01) |
代理机构 | 代理人 | 周良谋;周良吉 | |
主权项 | |||
地址 | 日本 |