| 发明名称 | 基板贴合装置及其方法以及基板检测装置 | ||
| 摘要 | 一种基板贴合装置(10)，所述装置系具有保持上玻璃基板(1)的上载台(21)和保持下玻璃基板(2)的下载台(22)，在位置对准的状态下，将上玻璃基板(1)和下玻璃基板(2)贴合。其特征在于，所述装置包括：对上下基板(1、2)的位置检测用标记进行摄象的摄象装置(40)；使摄象装置(40)与上下的玻璃基板(1、2)的相对间隔变化的移动装置(52)；求出上下的玻璃基板(1、2)与摄象装置(40)的相对间隔方面的数据用的手段；以及根据相对间隔方面的数据、对移动装置(52)进行控制的控制装置(50)。 | ||
| 申请公布号 | CN1441294A | 申请公布日期 | 2003.09.10 |
| 申请号 | CN03107002.7 | 申请日期 | 2003.02.28 |
| 申请人 | 芝浦机械电子装置股份有限公司 | 发明人 | 荻本真一;增田浩一 |
| 分类号 | G02F1/1333;G02F1/1339;G01B11/00 | 主分类号 | G02F1/1333 |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所 | 代理人 | 刘立平 |
| 主权项 | 1.一种基板贴合装置，所述装置系具有保持上基板的上载台和保持下基板的下载台，并在位置对准的状态下，将上基板和下基板贴合的基板贴合装置，其特征在于，所述基板贴合装置包括：对上下基板的至少一方基板的位置检测用标记进行摄象的摄象装置；使摄象装置与该至少一方的基板的相对间隔变化的移动装置；求出该至少一方的基板与摄象装置相对间隔方面的数据用的装置；以及根据相对间隔方面的数据、对移动装置进行控制的控制装置。 | ||
| 地址 | 日本神奈川县 | ||