Verschiebungsmessgerät mit Interferenzgitter

摘要

Ein Verschiebungsmessgerät ermöglicht es, dass mehrere Lichtstrahlen an Positionen auf einem Maßstab auftreffen oder an Punkten auf einem Maßstabgitter gebeugt werden, die weiter voneinander entfernt sind, als die Größe des Durchmessers der Lichtstrahlen auf dem Maßstabgitter ist, wobei ein Einfallwinkel jedes Lichtstrahls auf dem Maßstab im Wesentlichen gleich einem Ausfallwinkel des gebeugten Lichtstrahls jedes Lichtstrahls ist. Dies macht die Stärke eines Detektionssignals im Wesentlichen unabhängig von Schwankungen im Abstandswinkel und ermöglicht das Bereitstellen guter Signale. Folglich ist es möglich, das Gerät in einfacher Weise an einer Vorrichtung anzubringen und erlaubt eine verbesserte Anwendbarkeit des Messgeräts.