发明名称 PATTERNED BURIED INSULATOR
摘要
申请公布号 EP1340249(A2) 申请公布日期 2003.09.03
申请号 EP20010996045 申请日期 2001.11.29
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG;INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 CHEN, BOMY, A.;HIRSCH, ALEXANDER;IYER, SUNDAR, UMAR;ROVEDO, NIVO;WANN, HSING-JEN;ZHANG, YING
分类号 H01L21/762;H01L21/8234;H01L29/06;(IPC1-7):H01L21/336;H01L29/10;H01L29/78 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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