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发明名称
摘要
申请公布号 JP3441413(B2) 申请公布日期 2003.09.02
申请号 JP19990330216 申请日期 1999.11.19
申请人 发明人
分类号 H01L21/82;(IPC1-7):H01L21/82 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
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