扫描器

摘要

扫描器利用一个可在预定的转动轴上转动的可转动活动部件的转动运动扫描被扫描的主题。一个扫描镜由单一的支承轴支承。驱动电动机的动力由曲柄机构转变成为往复运动，以便转动该扫描镜。扫描镜的转动角度利用干涉仪的原理进检测。

主权项

1.一种扫描器，包括：一个可转动的活动部件，可在一个预定的转动轴上转动运动；一个转动机构，可使所述的可转动的活动部件在该转动轴上转动运动；及角度检测装置，用以检测所述的可转动的活动部件在该转动轴上的转动角度，所述的角度检测装置包括：一个干涉光学系统，用以产生干涉光，和一个光接收器，用以接收由所述的干涉光学系统所产生的干涉光，其特征在于：所述的干涉光学系统包括：一个光源，用于发射相干光，和两个反射光学部件，该两个反射光学部件各分别包含三个相互正交的反射镜，该两个反射光学部件设置在与转动轴相交的方向上，按照规则的间隔对齐地放置，所述的反射光学部件的每个都反射入射光并向着与该入射光的入射方向相对的方向发射反射光，且与所述的可转动的活动部件的转动位置无关，尚且，所述的干涉光学系统将所述的光源所发射的相干光划分成为两个部分，分别地引进所述的两个反射光学部件的各自相应的一个中，并将这两个反射光学部件所反射的相干光相互叠加，借此，产生由该相干光引起的干涉光。