发明名称 Chipentnahmevorrichtung, Chipentnahmesystem, Bestücksystem und Verfahren zum Entnehmen von Chips von einem Wafer
摘要 Chipentnahmevorrichtung, Chipentnahmesystem, Bestücksystem und Verfahren zum Entnehmen von Chips (100) von einem Wafer, bei welchem ein Entnahmewerkzeug und ein Wendewerkzeug jeweils drehbar ausgebildet ist und das Entnahmewerkzeug (110) zum Entnehmen von Chips (100) von einem Wafer (400) verwendet wird. Die entnommenen Chips (100) können entweder an einer ersten Übergabeposition (120) in einem gewendeten Zustand an einen Bestückkopf (220) übergeben werden oder von dem Entnahmewerkzeug (110) an das Wendewerkzeug (130) übergeben werden und von diesem in eine zweite Übergabeposition (140) gedreht werden, wo sie in einem ungewendeten Zustand von einem Bestückkopf (240) eines Bestücksystems entnommen werden können. Hierdurch ist ein kontinuierliches und flexibles Entnehmen von Chips (100) von einem Wafer (400) mit hoher Stückleistung möglich.
申请公布号 DE10203601(A1) 申请公布日期 2003.08.14
申请号 DE2002103601 申请日期 2002.01.30
申请人 SIEMENS AG 发明人 KWAN, YIM-BUM PATRICK
分类号 H01L21/60;H01L21/00;H01L21/52;H05K13/04;(IPC1-7):H05K13/02;H01L21/68;H01L21/78 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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