| 发明名称 |
POROUS LAYERS AND METHOD FOR PRODUCTION THEREOF BY MEANS OF SPIN-COATING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1333936(A2) |
申请公布日期 |
2003.08.13 |
| 申请号 |
EP20010987698 |
申请日期 |
2001.10.19 |
| 申请人 |
NANOSCAPE AG |
发明人 |
BEIN, THOMAS W.;MINTOVA, SVETLANA IVANOVA |
| 分类号 |
B01J29/035;B01J37/02;B05D1/00;B05D5/02;H01L21/316;(IPC1-7):B05D1/00;B32B15/00;B01J20/32;H01L21/00;B01D15/00;B01D53/04;G01N27/00 |
主分类号 |
B01J29/035 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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