使用液/液离心机降低成膜树脂中金属离子含量的方法

摘要

本发明提供了一种降低成膜树脂中金属离子含量的方法，所述方法包括下列步骤：a)在与水不混溶的溶剂体系中形成成膜树脂的溶液，该溶剂体系至少含有一种与水不混溶的溶剂；b)制备一种洗涤溶液，它含有水溶性金属离子螯合剂的稀溶液；c)通过两个独立的进料口将a)和b)中的溶液供入液/液离心机，一个所述进料口将a)中的溶液、第二个进料口将b)中的溶液，在a)和b)中溶液的进料速度比为约10/90～约90/10下供入所说液/液离心机，进料温度是从0℃直到低于与水不混溶的溶剂体系中沸点最低的与水不混溶溶剂的沸点的最高温度；和d)在所说液/液离心机内使步骤c)的混合物旋转，其旋转速度要足以使步骤c)中的混合物分离为两个分离相，然后各通过独立的出料口将这两个分离相收集到两个独立的容器中，其中较重的相(H)含有在与水不混溶的溶剂体系中的成膜树脂和较小量的水，该成膜树脂中的金属离子含量降低了；较轻的相(L)含有：1)金属离子的水溶液和较小量的2)与水不混溶的溶剂体系及3)成膜树脂的混合物。本发明还提供了生产光致抗蚀剂组合物的方法，和使用上述方法生产的成膜树脂来制造微电子器件的方法。

主权项

1.一种降低成膜树脂中金属离子含量的方法，所述方法包括以下步骤：a) 在与水不混溶的溶剂体系中形成一种成膜树脂的溶液，该溶剂体系至少含有一种与水不混溶的水溶剂；b) 制备一种洗涤溶液，它含有水溶性金属离子螯合剂的稀水溶液；c) 通过两个独立的进料口将a)和b)的溶液供入液/液离心机，一个所述进料口将a)的溶液、第二个进料口将b)的溶液，在a)和b)溶液的进料速度比为约10/90～约90/10下供入所说液/液离心机，进料温度是从约0℃直到低于与水不混溶的溶剂体系中沸点最低的与水不混溶溶剂的沸点的最高温度；及d) 在所说液/液离心机内使步骤c)的混合物旋转，其旋转速度要足以使步骤c)的混合物分离为两个分离相，然后各通过独立的出料口将这两个分离相收集到两个独立的容器中，其中较重的相(H)含有在与水不混溶的溶剂体系中的成膜树脂和较小量的水，该成膜树脂中金属离子含量降低了；较轻的相(L)含有：1)金属离子的水溶液和较小量的下列2)和3)的混合物，其中2)是与水不混溶的溶剂体系及3)是成膜树脂。