| 主权项 |
1.一种双轴浮动单轴昇降机构,包含:二相间隔的基座,该等基座各具有一彼此相对的侧面,且在该等侧面上分别形成有一限位部;一只能沿Z轴方向移动的Z轴座,具有二分别形成于两相反侧面上并与基座限位部滑合的定位部,及至少一形成于一顶面上的第一弧形限位部,该第一弧形限位部的二端是沿一X轴方向排列;一只能环绕Y轴浮动的Y轴座,具有至少一形成于一底面上并与Z轴座第一弧形限位部滑合的第一弧形定位部,及至少一形成于一顶面上的第二弧形限位部,该第二弧形限位部的二端是沿Y轴方向排列;一只能环绕X轴浮动的X轴座,具有至少一与Y轴座第二弧形限位部滑合的第二弧形定位部;一固定在X轴座上的工作平台,可随Z轴座、Y轴座与X轴座沿Z轴方向昇降,及环绕X轴、或Y轴浮动。2.依据申请专利范围第1项所述之双轴浮动单轴昇降机构,其中,该工作平台更具有三等距分布且可受力的顶持点,使工作平台在受力后,引动X轴座或Y轴座或Z轴座,可沿Z轴方向昇降,或环绕X轴、Y轴浮动。3.依据申请专利范围第1项所述之双轴浮动单轴昇降机构,其中,该基座的限位部是一沿Z轴方向延伸的线性凹槽,该Z轴座的定位部是线性凸轨。4.依据申请专利范围第1项所述之双轴浮动单轴昇降机构,其中,该Z轴座的第一弧形限位部是一弧形凹槽,该Y轴座的第一弧形定位部是一弧形凸轨。5.依据申请专利范围第1项所述之双轴浮动单轴昇降机构,其中,该Y轴座的第二弧形限位部是一弧形凹槽,该X轴座的第二弧形定位部是一弧形凸轨。图式简单说明:第一图是一剖视图,说明一般微调机构调整一面板与一光罩间的情形;第二图是一顶视图,说明面板与光罩对位不准确的情形;第三图是一立体图,说明本创作双轴浮动单轴昇降机构的一较佳实施例。第四图是一立体图,说明该较佳实施例与光罩的相关位置;第五图是一正视图,说明该较佳实施例沿一Z轴方向移动的情形;第六图是一正视图,说明该较佳实施例环绕Y轴浮动的情形;第七图是一侧视图,说明该较佳实施例环绕X轴浮动的情形;及第八图是一顶视图,说明面板与光罩对位准确的情形。 |
