发明名称
摘要
申请公布号 JP2003523088(A) 申请公布日期 2003.07.29
申请号 JP20010559069 申请日期 2001.01.29
申请人 发明人
分类号 H01L29/06;H01L29/40;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L29/06
代理机构 代理人
主权项
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