发明名称 SUBSTRATE FOR GROWING EPITAXIAL LAYERS OF GALLIUM ARSENIDE
摘要 FIELD: electronic engineering. SUBSTANCE: antimonides of metals of fourth period of periodic system are used for growing epitaxial layers of gallium arsenide. EFFECT: facilitated procedure of growing epitaxial layers; low cost of process.
申请公布号 RU2209260(C2) 申请公布日期 2003.07.27
申请号 RU20010115886 申请日期 2001.06.15
申请人 SKOE OTDELENIE);SKOE OTDEL 发明人 AJTKHOZHIN S.A.
分类号 C30B19/12;C30B15/00;C30B25/18;C30B29/10;C30B29/42;(IPC1-7):C30B19/12 主分类号 C30B19/12
代理机构 代理人
主权项
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