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发明名称 HIGH DENSITY POWER DEVICE STRUCTURE AND FABRICATION PROCESS
摘要
申请公布号 EP0654173(B1) 申请公布日期 2003.07.16
申请号 EP19930913971 申请日期 1993.05.17
申请人 ADVANCED POWER TECHNOLOGY INC. 发明人 TSANG, DAH, WEN;MOSIER, JOHN, W., II;PIKE, DOUGLAS, A., JR.;MEYER, THEODORE, O.
分类号 H01L21/033;H01L21/266;H01L21/3065;H01L21/331;H01L21/336;H01L29/06;H01L29/10;H01L29/40;H01L29/417;H01L29/423;H01L29/51;H01L29/739;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/265 主分类号 H01L21/033
代理机构 代理人
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