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发明名称 Process for manufacture an electrically conductvie ZnO comprising layer on a substrate
摘要
申请公布号 EP0877099(B1) 申请公布日期 2003.07.09
申请号 EP19980105597 申请日期 1998.03.27
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. 发明人 SPANHEL, LUBOMIR, DR.RER.NAT.;HILGENDORFF, MICHAEL, DIP.-CHEM.;MUELLER, GERD, PROF. DR.
分类号 C23C18/12;(IPC1-7):C23C18/12 主分类号 C23C18/12
代理机构 代理人
主权项
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