发明名称 | 一种微光学元件的复制方法 | ||
摘要 | 本发明公开了一种微光学元件的复制方法,涉及微光学元件的复制技术。该方法采用正性光刻材料(或负性光刻材料)作母板,光敏胶、硅橡胶等材料为复制过程的中间传递板,可复制出与母板凸凹面形相同或相反的微光学元件,故具有较大的灵活性和适用范围。本发明中间过程的传递板可长时间保存及重复使用,复制成本低,复制件的光学性能良好,单元尺寸不受限制,可用于大批量复制价廉的微光学元件。 | ||
申请公布号 | CN1428614A | 申请公布日期 | 2003.07.09 |
申请号 | CN01133734.6 | 申请日期 | 2001.12.24 |
申请人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明人 | 邓启凌;杜春雷 |
分类号 | G02B3/00 | 主分类号 | G02B3/00 |
代理机构 | 成都信博专利代理有限责任公司 | 代理人 | 张一红;王庆理 |
主权项 | 1、一种微光学元件的复制方法,其特征在于按下面的工艺流程复制微光学元件:①、针对不同的微透镜参数选择不同的材料(负性光刻材料或正性光刻材料)制作母板,母板是表面具有微透镜列阵浮雕结构的模型(正透镜(凸面形透镜,下同)或负透镜(凹面形透镜,下同);②、选择图形转移材料(如光敏胶)进行母板复制,得到第一传递板(负透镜或正透镜);③、选择复制材料(如硅橡胶)对第一传递板进行复制,得到第二传递板(正透镜或负透镜);④、通过传递板将所需图形制作在光敏胶膜层上,完成微透镜列阵的复制,得到需要的微光学元件(负透镜或正透镜)。 | ||
地址 | 610209四川省成都市双流350信箱 |