| 发明名称 |
EINRICHTUNG ZUR INSPEKTION EINER DREIDIMENSIONALEN OBERFLÄCHENSTRUKTUR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE50002385(D1) |
申请公布日期 |
2003.07.03 |
| 申请号 |
DE20005002385 |
申请日期 |
2000.08.22 |
| 申请人 |
SIEMENS AG |
发明人 |
BELLM, HUBERT;KANT, DIETER |
| 分类号 |
G01B11/24;(IPC1-7):G01B11/24 |
主分类号 |
G01B11/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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